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产品详情
MBRAUN布劳恩 OPTIvap 真空镀膜系统
高度定制化系统
可多台设备模块化组合成团簇集群式（cluster）或直线式（in-line）系统
多掩膜板/基片切换系统
可升级为与手套箱集成版本
标准膜厚均匀性：+/- 3 %（特殊定制可实现+/- 1 %）
OPTIvap 4支持：100x100 mm方片或6“晶圆
OPTIvap 6支持：210x210 mm方片或12“晶圆
产品简介
高度定制化系统
可多台设备模块化组合成团簇集群式（cluster）或直线式（in-line）系统
多掩膜板/基片切换系统
可升级为与手套箱集成版本
标准膜厚均匀性：+/- 3 %（特殊定制可实现+/- 1 %）
OPTIvap 4支持：100x100 mm方片或6“晶圆
OPTIvap 6支持：210x210 mm方片或12“晶圆
产品简介
储能电池
有机光电器件（OLED,OPV）
光学镀膜
半导体器件、光伏电池
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